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芯片厂酸碱性有机废气怎么处理

发表时间:2020/12/12 13:24:24 | 浏览次数:

1.芯片厂酸碱性有机废气简述

芯片厂在生产工艺流程中应用各种各样酸液清理、离子注入处理芯片等全过程中造成HF、HCl、盐酸雾等酸性气体。针对芯片厂公司在生产工艺流程全过程中造成的腐蚀汽体(如酸、偏碱有机废气)的整治,现阶段大多数公司选用液体消化吸收法整治,选用液体消化吸收法整治该有机废气,关键所在废气治理机器设备的挑选。酸碱性废气处理一般选用洗涤塔,根据酸碱中和反映来净化酸性气体。

 

 

2.酸碱性废气治理机器设备——洗涤塔原理

洗涤塔清洁基本原理是将汽体中的环境污染化学物质提取,转换为没害化学物质,以做到清洁汽体的目地。它归属于求微分触碰倒流式,塔身体的填充料是汽液两相触碰的基础预制构件,塔架外界的汽体进到塔架后,汽体进到填充料层,填充料层上面有来自于顶端自喷液体及前边的自喷液体,并在填充料上产生一层液膜,汽体流过填充料间隙时,与填充料液膜触碰并开展消化吸收或综合性反映,填充料层能出示充足大的面积,对汽体流动性又不至于导致过大的摩擦阻力,经消化吸收或综合性后的汽体经屋脊式除雾器搜集后,经通风口排出来塔外。

 

 

3.芯片厂有机废气处理工艺表明

生产线酸洗池有机气体有机废气经风罩搜集,经济管理道再进到酸碱性废气治理机器设备,酸雾净化塔体置放二层填充料层并配备二级水浴设备,并在循环系统蓄水池里加氢氧化钠溶液(通称碱),以中合有机废气中的有机气体,有机气体解决塔的上方喷嘴喷出来消化吸收液分布均匀在填充料上,有机废气与消化吸收液在填充料表层上充足触碰,因为填充料的冲击韧性大、抗腐蚀、空隙率高、表层大的特性,有机废气与消化吸收液在填充料表层有较多的触碰总面积和反应速度。清洁后的汽体会蕴含水分历经塔上的除雾设备除去水分后立即排污空气中。

 

4.酸碱性废气治理机器设备运用范畴

酸碱性废气治理机器设备普遍用以电子器件、化工厂、电镀工艺、五金、铝型材、电气设备、药业、印染厂等机械加工制造领域中造成的危害有机废气,如:硫酸(HCI)、氟化氢汽体(HF)、二氧化氮(NH3)、盐酸雾(H2SO4)、铬酸雾(CrO3)、氢氰酸汽体(HCN)、碱蒸气(NaOH)、硫化氢气体(H2S)、福尔马林溶液(HCHO)等水溶汽体。