等离子体被称为物质的第四种形式，由电子、离子、自由基和中性粒子组成。
低温等离子体有机气体净化器使用等离子体。以每秒800万至5000万次的速度反复轰击异味气体分子，使废气中的各种成分失活、离子化、裂解，从而产生氧化等一系列复杂的化学反应，然后将有害物质转化为洁净空气，通过多级净化释放到自然界。
其工作原理是利用高压发生器形成低温等离子体。
在大量平均能量约为5eV的电子的作用下，通过净化器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化为各种活性粒子，与空气中的O2结合，生成H2O、CO2等低分子无害物质，从而对废气进行净化。
在处理过程中，当有机气体进入等离子体反应室时，气体被均匀地分配到等离子体反应室(PRC)。反应室被分成149个六边形管，每个管的中心有一根冠状丝，与反应室分开。可以通过将高压电线传导至反应室来调节高压，并且将高压传导至管道中的管状电线。放电发生在电线和管壁之间。
等离子体电子一旦放电，就会与气体分子碰撞，产生化学活性核素，通常称为自由基和载流子。此外，还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以除尘。
同时，注入环境或二次气体以优化反应室的湿度和温度记录，同时添加离子以改善反应室中的反应。这种等离子体处理方法在低温下“氧化”有机气体。
